L'épitaxie par jets moléculaires (EBM) est une nouvelle technique permettant de faire croître des couches minces de cristaux de haute qualité sur des substrats cristallins. Sous ultravide, un four de chauffage équipé de tous les composants nécessaires génère de la vapeur, à travers des trous formés après collimation du faisceau atomique ou moléculaire, et une injection directe à la température appropriée du substrat monocristallin. Parallèlement, le faisceau moléculaire contrôle le balayage du substrat. Cette technique permet de former des couches minces alignées sur le substrat.

Pour le fonctionnement normal des équipements MBE, de l'azote liquide de haute pureté, à basse pression et ultra-propre doit être transporté de manière continue et stable vers la chambre de refroidissement. En général, un réservoir d'azote liquide présente une pression de sortie comprise entre 0,3 MPa et 0,8 MPa. À -196 °C, l'azote liquide se vaporise facilement lors du transport par pipeline. Une fois gazéifié dans le pipeline, l'azote liquide, dont le rapport gaz/liquide est d'environ 1:700, occupe une grande partie de l'espace d'écoulement et réduit le débit normal à l'extrémité du pipeline. De plus, le réservoir de stockage d'azote liquide est susceptible de contenir des débris non nettoyés. La présence d'air humide dans le pipeline entraîne également la formation de scories de glace. Si ces impuretés pénètrent dans l'équipement, elles peuvent causer des dommages imprévisibles.

Par conséquent, l'azote liquide dans le réservoir de stockage extérieur est transporté vers l'équipement MBE dans l'atelier sans poussière avec une efficacité, une stabilité et une propreté élevées, et la basse pression, sans azote, sans impuretés, 24 heures sans interruption, un tel système de contrôle de transport est un produit qualifié.