NOUVELLES - Le projet Chip MBE terminé ces dernières années

Technologie

L'épitaxie du faisceau moléculaire, ou MBE, est une nouvelle technique pour cultiver des films minces de haute qualité de cristaux sur des substrats de cristal. Dans des conditions d'aspiration ultra-hautes, par le poêle de chauffage est équipée de toutes sortes de composants requis et génére de la vapeur, à travers des trous formés après collimation de faisceau atomique ou moléculaire, injection directe à la température appropriée du substrat monocristal Le balayage du substrat en même temps, il peut faire des molécules ou des atomes dans les couches d'alignement des cristaux pour former un film mince sur une "croissance" de substrat.

Pour le fonctionnement normal de l'équipement MBE, une pureté élevée, une basse pression et de l'azote liquide ultra-nettoyé doivent être transportés en continu et stable vers la chambre de refroidissement de l'équipement. En général, un réservoir qui fournit de l'azote liquide a une pression de sortie entre 0,3 MPa et 0,8 MPa. L'azote liquide à -196 ℃ est facilement vaporisé dans de l'azote pendant le transport du pipeline. Une fois que l'azote liquide avec un rapport gaz-liquide d'environ 1: 700 est gazéifié dans le pipeline, il occupera une grande quantité d'espace d'écoulement d'azote liquide et réduira l'écoulement normal à l'extrémité du pipeline d'azote liquide. De plus, dans le réservoir de stockage de l'azote liquide, il y a probablement des débris qui n'ont pas été nettoyés. Dans le pipeline d'azote liquide, l'existence de l'air humide entraînera également la génération de scories de glace. Si ces impuretés sont déchargées dans l'équipement, cela entraînera des dommages imprévisibles à l'équipement.

Par conséquent, l'azote liquide dans le réservoir de stockage extérieur est transporté vers l'équipement MBE dans l'atelier sans poussière avec une grande efficacité, stabilité et propre, et la basse pression, pas d'azote, pas d'impuretés, 24 heures sans interruption, un tel système de contrôle du transport est un produit qualifié.

Équipement MBE assorti

Depuis 2005, HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) optimise et améliore ce système et coopère avec les fabricants internationaux d'équipement MBE. Les fabricants d'équipements MBE, dont DCA, REBER, ont des relations coopératives avec notre entreprise. Les fabricants d'équipements MBE, dont DCA et REBER, ont coopéré dans un grand nombre de projets.

Riber SA est l'un des principaux fournisseurs mondiaux de produits d'épitaxy de faisceau moléculaire (MBE) et des services connexes pour la recherche composée de semi-conducteurs et les applications industrielles. Le dispositif Riber MBE peut déposer des couches de matériau très minces sur le substrat, avec des commandes très élevées. L'équipement à vide de l'équipement cryogénique HL (HL Cryo) est équipé de Riber SA, le plus grand équipement est Riber 6000 et le plus petit est compact 21. Il est en bon état et a été reconnu par les clients.

DCA est le premier Oxyde MBE au monde. Depuis 1993, le développement systématique des techniques d'oxydation, le chauffage du substrat antioxydant et les sources antioxydants ont été effectuées. Pour cette raison, de nombreux laboratoires de premier plan ont choisi la technologie d'oxyde DCA. Les systèmes MBE semi-conducteurs composites sont utilisés dans le monde. Le système de circulation de l'azote liquide VJ d'équipement cryogénique HL (HL Cryo) et l'équipement MBE de plusieurs modèles de DCA ont l'expérience de correspondance dans de nombreux projets, tels que le modèle P600, R450, SGC800 etc.