Actualités - Le projet Chip MBE achevé au cours des dernières années

Technologie

L'épitaxie par faisceau moléculaire, ou MBE, est une nouvelle technique permettant de faire croître des films minces de cristaux de haute qualité sur des substrats cristallins. Dans des conditions d'ultra-vide, le poêle chauffant est équipé de toutes sortes de composants requis et génère de la vapeur, à travers des trous formés après la collimation d'un faisceau atomique ou moléculaire, injection directe à la température appropriée du substrat monocristallin, contrôlant le faisceau moléculaire pour le substrat balayant en même temps, il peut faire en sorte que les molécules ou les atomes dans les couches d'alignement cristallin forment un film mince sur un substrat "croissance".

Pour le fonctionnement normal de l’équipement MBE, de l’azote liquide de haute pureté, basse pression et ultra-propre doit être transporté de manière continue et stable vers la chambre de refroidissement de l’équipement. En général, un réservoir qui fournit de l'azote liquide a une pression de sortie comprise entre 0,3 MPa et 0,8 MPa. L'azote liquide à -196 ℃ se vaporise facilement en azote pendant le transport par pipeline. Une fois que l'azote liquide avec un rapport gaz-liquide d'environ 1:700 est gazéifié dans le pipeline, il occupera une grande quantité d'espace d'écoulement d'azote liquide et réduira le débit normal à l'extrémité du pipeline d'azote liquide. De plus, dans le réservoir de stockage d’azote liquide, il est probable qu’il y ait des débris qui n’ont pas été nettoyés. Dans le pipeline d'azote liquide, la présence d'air humide entraînera également la génération de scories de glace. Si ces impuretés sont déversées dans l’équipement, cela provoquera des dommages imprévisibles à l’équipement.

Par conséquent, l'azote liquide dans le réservoir de stockage extérieur est transporté vers l'équipement MBE dans l'atelier sans poussière avec une efficacité, une stabilité et une propreté élevées, et la basse pression, sans azote, sans impuretés, 24 heures sans interruption, un tel système de contrôle du transport est un produit qualifié.

Équipement MBE correspondant

Depuis 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimise et améliore ce système et coopère avec les fabricants internationaux d'équipements MBE. Les fabricants d'équipements MBE, dont DCA, REBER, entretiennent des relations de coopération avec notre société. Les fabricants d'équipements MBE, dont DCA et REBER, ont coopéré dans un grand nombre de projets.

Riber SA est l'un des principaux fournisseurs mondiaux de produits d'épitaxie par jet moléculaire (MBE) et de services associés pour la recherche sur les semi-conducteurs composés et les applications industrielles. Le dispositif Riber MBE peut déposer de très fines couches de matériau sur le substrat, avec des contrôles très élevés. L'équipement sous vide de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) est équipé de Riber SA. Le plus grand équipement est le Riber 6000 et le plus petit est le Compact 21. Il est en bon état et a été reconnu par les clients.

Le DCA est le leader mondial des oxydes MBE. Depuis 1993, un développement systématique des techniques d'oxydation, du chauffage des substrats antioxydants et des sources d'antioxydants a été réalisé. Pour cette raison, de nombreux laboratoires de premier plan ont choisi la technologie des oxydes DCA. Les systèmes MBE à semi-conducteurs composites sont utilisés dans le monde entier. Le système de circulation d'azote liquide VJ de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) et l'équipement MBE de plusieurs modèles de DCA ont l'expérience correspondante dans de nombreux projets, tels que les modèles P600, R450, SGC800, etc.