Boîtiers et solutions pour semi-conducteurs et puces

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Les systèmes de refroidissement à l'azote liquide sont largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs et des puces, y compris le processus de,

  • La technologie de l'épitaxie par jets moléculaires (MBE)
  • Le test de la puce après le paquet COB

Produits connexes

EPITAXYE PAR FAISCEAU MOLÉCULAIRE

La technologie de l'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) a été développée dans les années 1950 pour préparer des matériaux semi-conducteurs à couches minces en utilisant la technologie d'évaporation sous vide.Avec le développement de la technologie du vide ultra poussé, l'application de la technologie a été étendue au domaine de la science des semi-conducteurs.

HL a remarqué la demande du système de refroidissement à l'azote liquide MBE, une colonne vertébrale technique organisée pour développer avec succès un système spécial de roucoulement à l'azote liquide MBE pour la technologie MBE et un ensemble complet de système de tuyauterie isolé sous vide, qui a été utilisé dans de nombreuses entreprises, universités et instituts de recherche. .

Les problèmes courants de l'industrie des semi-conducteurs et des puces incluent,

  • La pression de l'azote liquide dans l'équipement terminal (MBE).Empêchez la surcharge de pression d'endommager l'équipement terminal (MBE).
  • Contrôles multiples d'entrée et de sortie de liquide cryogénique
  • La température de l'azote liquide dans l'équipement terminal
  • Une quantité raisonnable d'émissions de gaz cryogéniques
  • Commutation (automatique) des lignes principales et secondaires
  • Réglage de la pression (réduction) et stabilité du VIP
  • Nettoyer les impuretés possibles et les résidus de glace du réservoir
  • Temps de remplissage de l'équipement liquide du terminal
  • Prérefroidissement de canalisation
  • Résistance aux liquides dans le système VIP
  • Contrôler la perte d'azote liquide pendant le service discontinu du système

Le tuyau isolé sous vide (VIP) de HL est construit selon le code de tuyauterie sous pression ASME B31.3 en tant que norme.Expérience en ingénierie et capacité de contrôle de la qualité pour assurer l'efficacité et la rentabilité de l'usine du client.

SOLUTIONS

HL Cryogenic Equipment fournit à ses clients le système de tuyauterie isolé sous vide pour répondre aux exigences et aux conditions de l'industrie des semi-conducteurs et des puces :

1.Système de gestion de la qualité : Code de tuyauterie sous pression ASME B31.3.

2. Un séparateur de phase spécial avec plusieurs entrées et sorties de liquide cryogénique avec fonction de contrôle automatique répond aux exigences d'émission de gaz, d'azote liquide recyclé et de température de l'azote liquide.

3. La conception d'échappement adéquate et opportune garantit que l'équipement terminal fonctionne toujours dans la valeur de pression conçue.

4. La barrière gaz-liquide est placée dans le tuyau VI vertical à l'extrémité du pipeline VI.La barrière gaz-liquide utilise le principe du joint de gaz pour bloquer la chaleur de l'extrémité du pipeline VI dans la tuyauterie VI et réduire efficacement la perte d'azote liquide pendant le service discontinu et intermittent du système.

5. Tuyauterie VI contrôlée par la série de vannes isolées sous vide (VIV) : y compris la vanne d'arrêt isolée sous vide (pneumatique), le clapet anti-retour isolé sous vide, la vanne de régulation isolée sous vide, etc. Différents types de VIV peuvent être combinés de manière modulaire pour contrôler le VIP comme obligatoire.VIV est intégré à la préfabrication VIP chez le fabricant, sans traitement isolé sur site.L'unité d'étanchéité de VIV peut être remplacée facilement.(HL accepte la marque de vanne cryogénique désignée par les clients, puis fabrique des vannes isolées sous vide par HL. Certaines marques et certains modèles de vannes peuvent ne pas pouvoir être transformés en vannes isolées sous vide.)

6.Propreté, s'il existe des exigences supplémentaires pour la propreté de la surface du tube intérieur.Il est suggéré aux clients de choisir des tuyaux en acier inoxydable BA ou EP comme tuyaux intérieurs VIP afin de réduire davantage les déversements d'acier inoxydable.

7. Filtre isolé sous vide : nettoyez les éventuelles impuretés et résidus de glace du réservoir.

8.Après quelques jours ou plus d'arrêt ou de maintenance, il est très nécessaire de prérefroidir la tuyauterie VI et l'équipement terminal avant l'entrée du liquide cryogénique, afin d'éviter les scories de glace après que le liquide cryogénique pénètre directement dans la tuyauterie VI et l'équipement terminal.La fonction de pré-refroidissement doit être prise en compte dans la conception.Il offre une meilleure protection pour les équipements terminaux et les équipements de support VI Piping tels que les vannes.

9. Convient aux systèmes de tuyauterie dynamiques et statiques isolés sous vide (flexibles).

10.Système de tuyauterie dynamique isolé sous vide (flexible) : se compose de flexibles VI et/ou de tuyaux VI, de flexibles de raccordement, d'un système de vannes isolées sous vide, de séparateurs de phase et d'un système de pompe à vide dynamique (y compris les pompes à vide, les électrovannes et les vacuomètres, etc. ).La longueur du tuyau flexible VI unique peut être personnalisée en fonction des besoins de l'utilisateur.

11. Différents types de connexion : le type de connexion à baïonnette sous vide (VBC) et la connexion soudée peuvent être sélectionnés.Le type VBC ne nécessite pas de traitement isolé sur site.