Un bref aperçu du système de tuyauterie isolé sous vide dans les applications cryogéniques de l'industrie des puces

La fabrication et la conception du système de tuyauterie isolée sous vide pour le transport de l’azote liquide relèvent de la responsabilité du fournisseur.Pour ce projet, si le fournisseur ne dispose pas des conditions nécessaires pour effectuer des mesures sur site, les dessins d'orientation du pipeline doivent être fournis par la maison.Ensuite, le fournisseur concevra le système de tuyauterie VI pour les scénarios d'azote liquide.

Le fournisseur doit réaliser la conception globale du système de pipeline par des concepteurs expérimentés selon les dessins, les paramètres de l'équipement, les conditions du site, les caractéristiques de l'azote liquide et d'autres facteurs fournis par le demandeur.

Le contenu de la conception comprend le type d'accessoires du système, la détermination du matériau et les spécifications des tuyaux internes et externes, la conception du schéma d'isolation, le schéma des sections préfabriquées, le formulaire de connexion entre les sections de tuyaux, le support de tuyau interne. , le nombre et la position de la vanne à vide, l'élimination du joint au gaz, les besoins en liquide cryogénique de l'équipement terminal, etc. Ce schéma doit être vérifié par le personnel professionnel du demandeur avant la fabrication.

Le contenu de la conception du système de tuyauterie isolée sous vide est large, ici pour les applications HASS et les équipements MBE dans certains problèmes courants, un simple chat.

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VI Tuyauterie

Le réservoir de stockage d’azote liquide est généralement long provenant d’un équipement HASS Application ou MBE.Même si le tuyau isolé sous vide pénètre dans le bâtiment à l'intérieur, il doit être raisonnablement évité en fonction de la disposition des pièces dans le bâtiment et de l'emplacement du tuyau de terrain et du conduit d'air.Par conséquent, le transport de l’azote liquide vers l’équipement nécessite au moins des centaines de mètres de tuyaux.

Étant donné que l'azote liquide comprimé lui-même contient une grande quantité de gaz, couplé à la distance de transport, même le tuyau adiabatique sous vide produira une grande quantité d'azote au cours du processus de transport.Si l'azote n'est pas évacué ou si l'émission est trop faible pour répondre aux exigences, cela provoquera une résistance du gaz et entraînera un mauvais débit d'azote liquide, entraînant une forte réduction du débit.

Si le débit est insuffisant, la température dans la chambre d'azote liquide de l'équipement ne peut pas être contrôlée, ce qui peut éventuellement endommager l'équipement ou la qualité du produit.

Il est donc nécessaire de calculer la quantité d’azote liquide utilisée par l’équipement terminal (équipement HASS Application ou MBE).Dans le même temps, les spécifications des pipelines sont également déterminées en fonction de leur longueur et de leur direction.

À partir du réservoir de stockage d'azote liquide, si la canalisation principale du tuyau/tuyau isolé sous vide est DN50 (diamètre intérieur φ50 mm), son tuyau/tuyau de dérivation VI est DN25 (diamètre intérieur φ25 mm) et le tuyau entre le tuyau de dérivation et l'équipement terminal est DN15 (diamètre intérieur φ15 mm).Autres raccords pour le système de tuyauterie VI, y compris séparateur de phases, dégazeur, évent automatique de gaz, vanne d'arrêt VI/cryogénique (pneumatique), vanne de régulation de débit pneumatique VI, clapet anti-retour VI/cryogénique, filtre VI, soupape de sécurité, système de purge, et pompe à vide, etc.

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Séparateur de phases spécial MBE

Chaque séparateur de phases spécial pression normale MBE a les fonctions suivantes :

1. Capteur de niveau de liquide et système de contrôle automatique du niveau de liquide, affichés rapidement via un boîtier de commande électrique.

2. Fonction de réduction de pression : l'entrée de liquide du séparateur est équipée d'un système auxiliaire de séparateur, qui garantit une pression d'azote liquide de 3 à 4 bars dans la conduite principale.En entrant dans le séparateur de phases, réduisez progressivement la pression jusqu'à ≤ 1Bar.

3. Régulation du débit d'entrée de liquide : un système de contrôle de flottabilité est disposé à l'intérieur du séparateur de phases.Sa fonction est d'ajuster automatiquement la quantité de liquide absorbée lorsque la consommation d'azote liquide augmente ou diminue.Ceci présente l'avantage de réduire la forte fluctuation de pression provoquée par l'entrée d'une grande quantité d'azote liquide lorsque la vanne pneumatique d'entrée est ouverte et d'éviter une surpression.

4. Fonction tampon, le volume efficace à l'intérieur du séparateur garantit le débit instantané maximum de l'appareil.

5. Système de purge : flux d'air et vapeur d'eau dans le séparateur avant le passage de l'azote liquide, et évacuation de l'azote liquide dans le séparateur après le passage de l'azote liquide.

6. Fonction de décompression automatique de surpression : L'équipement, lors du premier passage dans l'azote liquide ou dans des circonstances particulières, entraîne une augmentation de la gazéification de l'azote liquide, ce qui entraîne une surpression instantanée de l'ensemble du système.Notre séparateur de phases est équipé d'une soupape de sécurité et d'un groupe de soupapes de sécurité, qui peuvent assurer plus efficacement la stabilité de la pression dans le séparateur et empêcher l'équipement MBE d'être endommagé par une pression excessive.

7. Le boîtier de commande électrique, affichage en temps réel du niveau de liquide et de la valeur de pression, peut régler le niveau de liquide dans le séparateur et l'azote liquide dans la relation de contrôle.En même temps.En cas d'urgence, freinage manuel du séparateur gaz-liquide dans la vanne de régulation de liquide, pour garantir la sécurité du personnel et des équipements du site.

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Dégazeur multicœur pour les applications HASS

Le réservoir extérieur de stockage d’azote liquide contient une grande quantité d’azote car il est stocké et transporté sous pression.Dans ce système, la distance de transport par pipeline est plus longue, il y a plus de coudes et une plus grande résistance, ce qui provoquera une gazéification partielle de l'azote liquide.Le tube isolé sous vide est actuellement le meilleur moyen de transporter l’azote liquide, mais les fuites de chaleur sont inévitables, ce qui entraînera également une gazéification partielle de l’azote liquide.Pour résumer, l'azote liquide contient une grande quantité d'azote, ce qui conduit à la génération d'une résistance au gaz, ce qui fait que le flux d'azote liquide n'est pas fluide.

L'équipement d'échappement sur un tuyau isolé sous vide, s'il n'y a pas de dispositif d'échappement ou un volume d'échappement insuffisant, entraînera une résistance au gaz.Une fois la résistance au gaz formée, la capacité de transport de l’azote liquide sera considérablement réduite.

Le dégazeur multicœur conçu exclusivement par notre société peut garantir au maximum l'azote évacué du tuyau principal d'azote liquide et empêcher la formation de résistance au gaz.Et le dégazeur multicœur a un volume interne suffisant, peut jouer le rôle de réservoir de stockage tampon, peut répondre efficacement aux besoins du débit instantané maximum du pipeline de solution.

Structure multicœur brevetée unique, capacité d'échappement plus efficace que nos autres types de séparateurs.

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Dans la continuité de l'article précédent, certains problèmes doivent être pris en compte lors de la conception de solutions pour les systèmes de tuyauterie isolés sous vide pour les applications cryogéniques dans l'industrie des puces.

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Deux types de systèmes de tuyauterie isolés sous vide

Il existe deux types de systèmes de tuyauterie isolés sous vide : le système statique VI et le système de pompage sous vide dynamique.

Le système Static VI signifie qu'une fois que chaque tuyau est fabriqué en usine, il est aspiré au degré de vide spécifié sur l'unité de pompage et scellé.Lors de l'installation sur le terrain et de la mise en service, il n'est pas nécessaire de réévacuer vers le site pendant une certaine période.

L’avantage du système Static VI réside dans ses faibles coûts de maintenance.Une fois le système de tuyauterie en service, un entretien est nécessaire plusieurs années plus tard.Ce système de vide convient aux systèmes qui ne nécessitent pas d'exigences de refroidissement élevées et d'espaces ouverts pour la maintenance sur site.

L’inconvénient du système Static VI est que le vide diminue avec le temps.Parce que tous les matériaux libèrent des traces de gaz en permanence, ce qui est déterminé par les propriétés physiques du matériau.Le matériau de la gaine du VI Pipe peut réduire la quantité de gaz libéré par le processus, mais ne peut pas être complètement isolé.Cela conduira au vide de l'environnement sous vide scellé, qui sera de plus en plus bas, le tube d'isolation sous vide affaiblira progressivement la capacité de refroidissement.

Le système de pompage sous vide dynamique signifie qu'une fois le tuyau fabriqué et formé, le tuyau est toujours évacué en usine selon le processus de détection des fuites, mais le vide n'est pas scellé avant la livraison.Une fois l'installation sur site terminée, les couches intermédiaires sous vide de tous les tuyaux doivent être reliées en une ou plusieurs unités par des tuyaux en acier inoxydable, et une petite pompe à vide dédiée doit être utilisée pour aspirer les tuyaux sur le terrain.La pompe à vide spéciale dispose d'un système automatique pour surveiller le vide à tout moment et aspirer selon les besoins.Le système fonctionne 24 heures sur 24.

L’inconvénient du système de pompage sous vide dynamique est que le vide doit être maintenu par l’électricité.

L’avantage du système de pompage sous vide dynamique est que le degré de vide est très stable.Il est préférentiellement utilisé dans l’environnement intérieur et les exigences de performances sous vide des projets très élevés.

Notre système de pompage sous vide dynamique, l'ensemble de la pompe à vide spéciale intégrée mobile pour assurer l'équipement sous vide, une disposition pratique et raisonnable pour assurer l'effet du vide, la qualité des accessoires sous vide pour assurer la qualité du vide.

Pour le projet MBE, car l'équipement est dans la salle blanche et l'équipement fonctionne longtemps.La majeure partie du système de tuyauterie isolée sous vide se trouve dans l’espace fermé sur la couche intermédiaire de la salle blanche.Il est impossible de mettre en œuvre le maintien sous vide du système de tuyauterie à l'avenir.Cela aura un impact sérieux sur le fonctionnement à long terme du système.En conséquence, le projet MBE utilise presque tous les systèmes de pompage dynamique sous vide.

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Système de décompression

Le système de décompression de la ligne principale adopte un groupe de soupapes de sécurité.Le groupe de soupapes de sûreté est utilisé comme système de protection de sécurité en cas de surpression. La tuyauterie VI ne peut pas être ajustée en utilisation normale.

La soupape de sûreté est un élément clé pour garantir que le système de pipeline ne sera pas en surpression et qu'il fonctionnera en toute sécurité, elle est donc essentielle au fonctionnement du pipeline.Mais la soupape de sécurité, conformément à la réglementation, doit être envoyée pour contrôle chaque année.Lorsqu'une soupape de sécurité est utilisée et que l'autre est préparée, lorsqu'une soupape de sécurité est retirée, l'autre soupape de sécurité est toujours dans le système de pipeline pour assurer le fonctionnement normal du pipeline.

Le groupe de soupapes de sûreté contient deux soupapes de sûreté DN15, une pour l'utilisation et une pour la veille.En fonctionnement normal, une seule soupape de sécurité est connectée au système de tuyauterie VI et fonctionne normalement.Les autres soupapes de sécurité sont déconnectées du tuyau intérieur et peuvent être remplacées à tout moment.Les deux soupapes de sécurité sont connectées et coupées via l'état de commutation des soupapes latérales.

Le groupe de soupapes de sûreté est équipé d'un manomètre pour vérifier la pression du système de tuyauterie à tout moment.

Le groupe de soupapes de sûreté est équipé d'une soupape de décharge.Il peut être utilisé pour évacuer l'air dans le tuyau lors de la purge, et l'azote peut être évacué lorsque le système d'azote liquide est en fonctionnement.

David

Équipement cryogénique HL

HL Cryogenic Equipment, fondée en 1992, est une marque affiliée à Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company en Chine.HL Cryogenic Equipment s'engage dans la conception et la fabrication du système de tuyauterie cryogénique isolé sous vide poussé et des équipements de support associés.

Dans le monde d'aujourd'hui en évolution rapide, fournir une technologie de pointe tout en maximisant les économies de coûts pour les clients est une tâche difficile.Depuis 30 ans, HL Cryogenic Equipment Company, dans presque tous les équipements et industries cryogéniques, a une expérience plus approfondie dans la scène des applications, a accumulé une expérience riche et fiable, et explore et s'efforce continuellement de suivre les derniers développements dans tous les domaines, offrant aux clients des solutions nouvelles, pratiques et efficaces, rendent nos clients plus compétitifs sur le marché.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

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Heure de publication : 25 août 2021