Un résumé du système de tuyauterie isolé sous vide dans l'application cryogénique de l'industrie des puces

La fabrication et la conception du système de tuyauterie isolé sous vide pour le transport de l'azote liquide relèvent de la responsabilité du fournisseur.Pour ce projet, si le fournisseur ne dispose pas des conditions de mesure sur site, les dessins de direction du pipeline doivent être fournis par la maison.Ensuite, le fournisseur concevra le système de tuyauterie VI pour les scénarios d'azote liquide.

Le fournisseur doit compléter la conception globale du système de canalisation par des concepteurs expérimentés en fonction des dessins, des paramètres de l'équipement, des conditions du site, des caractéristiques de l'azote liquide et d'autres facteurs fournis par le demandeur.

Le contenu de la conception comprend le type d'accessoires du système, la détermination du matériau et les spécifications des tuyaux internes et externes, la conception du schéma d'isolation, le schéma de section préfabriqué, le formulaire de connexion entre les sections de tuyau, le support de tuyau interne , le nombre et la position de la soupape à vide, l'élimination du joint de gaz, les besoins en liquide cryogénique de l'équipement terminal, etc. Ce schéma doit être vérifié par le personnel professionnel du demandeur avant la fabrication.

Le contenu de la conception du système de tuyauterie isolé sous vide est large, ici pour les applications HASS et l'équipement MBE dans certains problèmes courants, une simple conversation.

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VI Tuyauterie

Le réservoir de stockage d'azote liquide est généralement long à partir d'un équipement HASS Application ou MBE.Bien que le tuyau isolé sous vide pénètre dans le bâtiment à l'intérieur, il doit être raisonnablement évité en fonction de la disposition de la pièce dans le bâtiment et de l'emplacement du tuyau de terrain et du conduit d'air.Par conséquent, transportant de l'azote liquide vers l'équipement, au moins des centaines de mètres de tuyau.

Parce que l'azote liquide comprimé lui-même contient une grande quantité de gaz, couplée à la distance de transport, même le tuyau adiabatique sous vide produira une grande quantité d'azote dans le processus de transport.Si l'azote n'est pas évacué ou si l'émission est trop faible pour répondre aux exigences, cela entraînera une résistance du gaz et conduira à un mauvais débit d'azote liquide, entraînant une forte réduction du débit.

Si le débit est insuffisant, la température dans la chambre d'azote liquide de l'équipement ne peut pas être contrôlée, ce qui peut éventuellement entraîner des dommages à l'équipement ou à la qualité du produit.

Il est donc nécessaire de calculer la quantité d'azote liquide utilisée par l'équipement terminal (Application HASS ou équipement MBE).Dans le même temps, les spécifications du pipeline sont également déterminées en fonction de la longueur et de la direction du pipeline.

À partir du réservoir de stockage d'azote liquide, si la canalisation principale du tuyau/tuyau isolé sous vide est DN50 (diamètre intérieur φ50 mm), son tuyau/tuyau VI de branchement est DN25 (diamètre intérieur φ25 mm) et le tuyau entre le tuyau de dérivation et l'équipement terminal est DN15 (diamètre intérieur φ15 mm).Autres raccords pour système de tuyauterie VI, y compris séparateur de phase, dégazeur, purgeur de gaz automatique, vanne d'arrêt VI/cryogénique (pneumatique), vanne de régulation de débit pneumatique VI, clapet anti-retour VI/cryogénique, filtre VI, soupape de décharge de sécurité, système de purge, et pompe à vide, etc.

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Séparateur de phase spécial MBE

Chaque séparateur de phases spécial pression normale MBE a les fonctions suivantes :

1. Capteur de niveau de liquide et système de contrôle automatique du niveau de liquide, et affichage rapide via un boîtier de commande électrique.

2. Fonction de réduction de pression : l'entrée de liquide du séparateur est équipée d'un système auxiliaire de séparateur, qui garantit une pression d'azote liquide de 3-4 bar dans le tuyau principal.Lorsque vous entrez dans le séparateur de phases, réduisez progressivement la pression à ≤ 1 bar.

3. Régulation du débit d'entrée de liquide : un système de contrôle de la flottabilité est disposé à l'intérieur du séparateur de phases.Sa fonction est d'ajuster automatiquement la quantité d'apport de liquide lorsque la consommation d'azote liquide augmente ou diminue.Cela présente l'avantage de réduire la forte fluctuation de pression provoquée par l'entrée d'une grande quantité d'azote liquide lors de l'ouverture de la vanne pneumatique d'entrée et d'éviter une surpression.

4. Fonction tampon, le volume effectif à l'intérieur du séparateur garantit le débit instantané maximal de l'appareil.

5. Système de purge : flux d'air et de vapeur d'eau dans le séparateur avant le passage de l'azote liquide, et évacuation de l'azote liquide dans le séparateur après le passage de l'azote liquide.

6. Fonction de décharge automatique de surpression : L'équipement, lors du passage initial dans l'azote liquide ou dans des circonstances particulières, entraîne une augmentation de la gazéification de l'azote liquide, ce qui entraîne une surpression instantanée de l'ensemble du système.Notre séparateur de phases est équipé d'une soupape de décharge de sécurité et d'un groupe de soupapes de décharge de sécurité, qui peuvent assurer plus efficacement la stabilité de la pression dans le séparateur et empêcher l'équipement MBE d'être endommagé par une pression excessive.

7. Le boîtier de commande électrique, affichage en temps réel du niveau de liquide et de la valeur de pression, peut régler le niveau de liquide dans le séparateur et l'azote liquide dans la quantité de relation de contrôle.En même temps.En cas d'urgence, freinage manuel du séparateur gaz-liquide dans la vanne de régulation liquide, pour la sécurité du personnel du site et des équipements à fournir une garantie.

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Dégazeur multicœur pour les applications HASS

Le réservoir extérieur de stockage d'azote liquide contient une grande quantité d'azote car il est stocké et transporté sous pression.Dans ce système, la distance de transport par pipeline est plus longue, il y a plus de coudes et une plus grande résistance, ce qui entraînera une gazéification partielle de l'azote liquide.Le tube isolé sous vide est actuellement le meilleur moyen de transporter l'azote liquide, mais les fuites de chaleur sont inévitables, ce qui entraînera également une gazéification partielle de l'azote liquide.Pour résumer, l'azote liquide contient une grande quantité d'azote, ce qui conduit à la génération d'une résistance au gaz, ce qui fait que le flux d'azote liquide n'est pas régulier.

L'équipement d'échappement sur un tuyau isolé sous vide, s'il n'y a pas de dispositif d'échappement ou un volume d'échappement insuffisant, entraînera une résistance au gaz.Une fois la résistance au gaz formée, la capacité de transport de l'azote liquide sera considérablement réduite.

Le dégazeur multicœur conçu exclusivement par notre société peut garantir au maximum l'azote évacué du tuyau principal d'azote liquide et empêcher la formation de résistance au gaz.Et le dégazeur multicœur a un volume interne suffisant, peut jouer le rôle de réservoir de stockage tampon, peut répondre efficacement aux besoins du débit instantané maximal du pipeline de solution.

Structure multicœur brevetée unique, capacité d'échappement plus efficace que nos autres types de séparateurs.

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En continuant avec l'article précédent, certains problèmes doivent être pris en compte lors de la conception de solutions pour le système de tuyauterie isolé sous vide pour les applications cryogéniques dans l'industrie des puces.

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Deux types de système de tuyauterie isolé sous vide

Il existe deux types de système de tuyauterie isolé sous vide : le système VI statique et le système de pompage sous vide dynamique.

Le système Static VI signifie qu'après la fabrication de chaque tuyau en usine, il est aspiré au degré de vide spécifié sur l'unité de pompage et scellé.Lors de l'installation sur le terrain et de la mise en service, une certaine période de temps n'a pas besoin d'être ré-évacuée sur le site.

L'avantage du système Static VI réside dans les faibles coûts de maintenance.Une fois le système de tuyauterie en service, une maintenance est nécessaire plusieurs années plus tard.Ce système de vide convient aux systèmes qui ne nécessitent pas d'exigences de refroidissement élevées et des espaces ouverts pour la maintenance sur site.

L'inconvénient du Static VI System est que le vide diminue avec le temps.Parce que tous les matériaux libèrent en permanence des traces de gaz, ce qui est déterminé par les propriétés physiques du matériau.Le matériau de la gaine de VI Pipe peut réduire la quantité de gaz libérée par le processus, mais ne peut pas être complètement isolé.Cela conduira au vide de l'environnement sous vide scellé, sera de plus en plus bas, le tube d'isolation sous vide affaiblira progressivement la capacité de refroidissement.

Le système de pompage à vide dynamique signifie qu'après la fabrication et la formation du tuyau, le tuyau est toujours évacué dans l'usine selon le processus de détection des fuites, mais le vide n'est pas scellé avant la livraison.Une fois l'installation sur le terrain terminée, les intercalaires sous vide de tous les tuyaux doivent être reliés à une ou plusieurs unités par des tuyaux en acier inoxydable, et une petite pompe à vide dédiée doit être utilisée pour aspirer les tuyaux sur le terrain.La pompe à vide spéciale dispose d'un système automatique pour surveiller le vide à tout moment et vider au besoin.Le système fonctionne 24 heures sur 24.

L'inconvénient du système de pompage à vide dynamique est que le vide doit être maintenu par l'électricité.

L'avantage du système de pompage à vide dynamique est que le degré de vide est très stable.Il est préférentiellement utilisé dans l'environnement intérieur et les exigences de performance de vide des projets très élevés.

Notre système de pompage à vide dynamique, l'ensemble de la pompe à vide spéciale intégrée mobile pour assurer l'équipement à vide, une disposition pratique et raisonnable pour assurer l'effet du vide, la qualité des accessoires de vide pour assurer la qualité du vide.

Pour le projet MBE, parce que l'équipement est dans la salle blanche et que l'équipement fonctionne depuis longtemps.La majeure partie du système de tuyauterie isolé sous vide se trouve dans l'espace fermé sur la couche intermédiaire de la salle blanche.Il est impossible de mettre en œuvre la maintenance sous vide du système de tuyauterie à l'avenir.Cela aura un impact sérieux sur le fonctionnement à long terme du système.En conséquence, le projet MBE utilise presque tout le système de pompage à vide dynamique.

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Système de décompression

Le système de décompression de la ligne principale adopte le groupe de soupapes de sécurité.Le groupe de soupapes de décharge de sécurité est utilisé comme système de protection de sécurité en cas de surpression, la tuyauterie VI ne peut pas être ajustée en utilisation normale

La soupape de décharge de sécurité est un élément clé pour garantir que le système de canalisation ne sera pas en surpression, un fonctionnement sûr, il est donc essentiel dans le fonctionnement du pipeline.Mais la soupape de sécurité selon la réglementation, doit être envoyée pour vérification chaque année.Lorsqu'une soupape de sécurité est utilisée et que l'autre est préparée, lorsqu'une soupape de sécurité est retirée, l'autre soupape de sécurité est toujours dans le système de canalisation pour assurer le fonctionnement normal de la canalisation.

Le groupe de soupapes de décharge de sécurité contient deux soupapes de décharge de sécurité DN15, une pour l'utilisation et une pour la veille.En fonctionnement normal, une seule soupape de décharge de sécurité est connectée au système de tuyauterie VI et fonctionne normalement.Les autres soupapes de décharge de sécurité sont déconnectées du tuyau intérieur et peuvent être remplacées à tout moment.Les deux soupapes de sécurité sont connectées et coupées par l'état de commutation de la soupape latérale.

Le groupe de soupapes de décharge de sécurité est équipé d'un manomètre pour vérifier la pression du système de tuyauterie à tout moment.

Le groupe de soupapes de sécurité est équipé d'une soupape de décharge.Il peut être utilisé pour évacuer l'air dans le tuyau lors de la purge, et l'azote peut être évacué lorsque le système d'azote liquide fonctionne.

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Équipement cryogénique HL

HL Cryogenic Equipment, fondée en 1992, est une marque affiliée à Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company en Chine.HL Cryogenic Equipment s'engage à concevoir et à fabriquer le système de tuyauterie cryogénique isolé sous vide poussé et l'équipement de support connexe.

Dans le monde d'aujourd'hui en évolution rapide, fournir une technologie de pointe tout en maximisant les économies de coûts pour les clients est une tâche difficile.Depuis 30 ans, HL Cryogenic Equipment Company dans presque tous les équipements et industries cryogéniques a une scène d'application plus profonde, a accumulé une expérience riche et fiable, et explore en permanence et s'efforce de suivre les derniers développements dans tous les domaines de la vie, offrant aux clients de nouvelles solutions pratiques et efficaces, rendent nos clients plus compétitifs sur le marché.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

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Heure de publication : 25 août 2021