Les systèmes de refroidissement à l'azote liquide sont largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs et des puces, y compris le processus de,
- La technologie de l'épitaxie par jet moléculaire (MBE)
- Le test de la puce après le package COB
Produits connexes
Série de tuyaux isolés sous vide
Série de tuyaux flexibles isolés sous vide
Système de pompe à vide dynamique
Série de séparateurs de phases isolés sous vide
Série de vannes isolées sous vide
Équipement de support du système de tuyauterie
ÉPITAXIE PAR FAISCEAU MOLÉCULAIRE
La technologie de l'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) a été développée dans les années 1950 pour préparer des matériaux semi-conducteurs en couches minces à l'aide de la technologie d'évaporation sous vide. Avec le développement de la technologie de l’ultra-vide, l’application de la technologie a été étendue au domaine de la science des semi-conducteurs.
HL a remarqué la demande du système de refroidissement à l'azote liquide MBE, une structure technique organisée pour développer avec succès un système spécial de refroidissement à l'azote liquide MBE pour la technologie MBE et un ensemble complet de systèmes de tuyauterie isolés sous vide, qui ont été utilisés dans de nombreuses entreprises, universités et instituts de recherche. .
Les problèmes courants de l’industrie des semi-conducteurs et des puces comprennent :
- La pression de l’azote liquide dans l’équipement du terminal (MBE). Empêcher la surcharge de pression d'endommager l'équipement du terminal (MBE).
- Plusieurs contrôles d'entrée et de sortie de liquide cryogénique
- La température de l'azote liquide dans l'équipement terminal
- Une quantité raisonnable d’émissions de gaz cryogéniques
- Commutation (automatique) des lignes principales et secondaires
- Ajustement de la pression (réduction) et stabilité du VIP
- Nettoyer les impuretés possibles et les résidus de glace du réservoir
- Temps de remplissage de l'équipement liquide du terminal
- Prérefroidissement des pipelines
- Résistance aux liquides dans le système VIP
- Contrôler la perte d'azote liquide pendant le service discontinu du système
Les tuyaux isolés sous vide (VIP) de HL sont construits conformément au code de tuyauterie sous pression ASME B31.3 en tant que norme. Expérience en ingénierie et capacité de contrôle qualité pour garantir l’efficacité et la rentabilité de l’usine du client.
SOLUTIONS
HL Cryogenic Equipment fournit à ses clients un système de tuyauterie isolé sous vide pour répondre aux exigences et aux conditions de l'industrie des semi-conducteurs et des puces :
1. Système de gestion de la qualité : Code de tuyauterie sous pression ASME B31.3.
2.Un séparateur de phase spécial avec plusieurs entrées et sorties de liquide cryogénique avec fonction de contrôle automatique répond aux exigences d'émission de gaz, d'azote liquide recyclé et de température de l'azote liquide.
3. Une conception d'échappement adéquate et opportune garantit que l'équipement terminal fonctionne toujours dans les limites de la valeur de pression conçue.
4.La barrière gaz-liquide est placée dans le tuyau VI vertical à l’extrémité du pipeline VI. La barrière gaz-liquide utilise le principe du joint au gaz pour bloquer la chaleur de l'extrémité du pipeline VI vers la tuyauterie VI et réduire efficacement la perte d'azote liquide pendant le service discontinu et intermittent du système.
5. Tuyauterie VI contrôlée par la série de vannes isolées sous vide (VIV) : y compris la vanne d'arrêt (pneumatique) isolée sous vide, le clapet anti-retour isolé sous vide, la vanne de régulation isolée sous vide, etc. Différents types de VIV peuvent être combinés de manière modulaire pour contrôler le VIP comme requis. VIV est intégré à la préfabrication VIP en usine, sans traitement isolé sur site. L'unité d'étanchéité du VIV peut être remplacée facilement. (HL accepte la marque de vannes cryogéniques désignée par les clients, puis fabrique des vannes isolées sous vide par HL. Certaines marques et modèles de vannes peuvent ne pas pouvoir être transformés en vannes isolées sous vide.)
6. Propreté, s'il existe des exigences supplémentaires concernant la propreté de la surface de la chambre à air. Il est suggéré aux clients de choisir des tuyaux en acier inoxydable BA ou EP comme tuyaux intérieurs VIP afin de réduire davantage les déversements d'acier inoxydable.
7. Filtre isolé sous vide : nettoyez les impuretés possibles et les résidus de glace du réservoir.
8.Après quelques jours d'arrêt ou de maintenance ou plus, il est très nécessaire de prérefroidir la tuyauterie VI et l'équipement terminal avant d'entrer dans le liquide cryogénique, afin d'éviter les scories de glace après que le liquide cryogénique entre directement dans la tuyauterie VI et l'équipement terminal. La fonction de prérefroidissement doit être prise en compte lors de la conception. Il offre une meilleure protection pour les équipements terminaux et les équipements de support de tuyauterie VI tels que les vannes.
9. Convient aux systèmes de tuyauterie (flexibles) isolés sous vide dynamiques et statiques.
10. Système de tuyauterie (flexible) isolé sous vide dynamique : composé de tuyaux flexibles VI et/ou de tuyaux VI, de tuyaux de raccordement, d'un système de vannes isolées sous vide, de séparateurs de phases et d'un système de pompe à vide dynamique (y compris les pompes à vide, les électrovannes et les jauges à vide, etc. ). La longueur du tuyau flexible VI unique peut être personnalisée en fonction des exigences de l'utilisateur.
11. Différents types de connexion : le type de connexion à baïonnette sous vide (VBC) et la connexion soudée peuvent être sélectionnés. Le type VBC ne nécessite pas de traitement isolé sur site.
