Les systèmes de refroidissement en azote liquide sont largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs et des puces, y compris le processus de,
- La technologie de l'épitaxie du faisceau moléculaire (MBE)
- Le test de la puce après le package COB
Produits connexes
Série de tuyaux isolés sous vide
Série de tuyaux flexibles isolés sous vide
Système de pompe à vide dynamique
Série de séparateurs de phases isolées sous vide
Série de vannes isolées sous vide
Équipement de support du système de tuyauterie
Épitaxie du faisceau moléculaire
La technologie de l'épitaxie du faisceau moléculaire (MBE) a été développée dans les années 1950 pour préparer des matériaux à couches minces semi-conducteurs en utilisant la technologie d'évaporation du vide. Avec le développement de la technologie sous vide ultra-élevé, l'application de la technologie a été étendue au domaine de la science des semi-conducteurs.
HL a remarqué la demande du système de refroidissement en azote liquide MBE, une épine dorsale technique organisée pour développer avec succès un système spécial de roucoulement d'azote liquide MBE pour la technologie MBE et un ensemble complet de systèmes de tuyauterie isolés sous vide, qui a été utilisé dans de nombreuses entreprises, universités et instituts de recherche .
Les problèmes communs de l'industrie des semi-conducteurs et des puces comprennent,
- La pression de l'azote liquide dans l'équipement terminal (MBE). Empêcher la surcharge de pression de l'équipement de terminal endommageant (MBE).
- Plusieurs commandes d'entrée et de sortie de liquide cryogénique
- La température de l'azote liquide dans l'équipement terminal
- Une quantité raisonnable d'émissions de gaz cryogénique
- Commutation (automatique) des lignes principales et branches
- Réglage de la pression (réduction) et stabilité de VIP
- Nettoyer les impuretés possibles et les résidus de glace du réservoir
- Temps de remplissage de l'équipement liquide terminal
- Pré-refroidissement du pipeline
- Résistance aux liquides dans le système VIP
- Contrôler la perte d'azote liquide pendant le service discontinu du système
Le tuyau isolé de vide de HL (VIP) est construit sur le code de tuyauterie de pression ASME B31.3 en standard. Expérience d'ingénierie et capacité de contrôle de la qualité à assurer l'efficacité et la rentabilité de l'usine du client.
Solutions
HL Cryogenic Equipment fournit aux clients le système de tuyauterie isolé de vide pour répondre aux exigences et conditions de l'industrie des semi-conducteurs et des puces:
1. Système de gestion de la qualité: ASME B31.3 Code de tuyauterie de pression.
2. Un séparateur de phase spécial avec une entrée et une prise liquide cryogéniques multiples avec une fonction de contrôle automatique répond à l'exigence d'émission de gaz, d'azote liquide recyclé et de température de l'azote liquide.
3. La conception d'échappement adaptée et opportune garantit que l'équipement terminal fonctionne toujours dans la valeur de pression conçue.
4. La barrière à gaz-liquide est placée dans le tuyau VI vertical à la fin du pipeline VI. La barrière de gaz-liquide utilise le principe du joint gazier pour bloquer la chaleur de l'extrémité du pipeline VI dans la tuyauterie VI et réduire efficacement la perte d'azote liquide pendant le service discontinu et intermittent du système.
5.VI Piping contrôlé par la série de soupape isolée à vide (VIV): y compris la vanne d'arrêt isolée à vide (pneumatique), le clapet anti-retour isolé à vide, la vanne de régulation isolée sous vide, etc. requis. VIV est intégré à la préfabrication VIP chez le fabricant, sans traitement isolé sur place. L'unité d'étanchéité de VIV peut être remplacée facilement. (HL accepte la marque de valve cryogénique désignée par les clients, puis fabrique des vannes isolées sous vide par HL. Certaines marques et modèles de vannes peuvent ne pas être transformés en vannes isolées sous vide.)
6.Céanité, s'il existe des exigences supplémentaires pour la propreté de la surface du tube intérieur. Il est suggéré que les clients choisissent des tuyaux en acier inoxydable BA ou EP comme tuyaux intérieurs VIP pour réduire davantage les déversements en acier inoxydable.
7. Filtre isolé de Vacuum: Nettoyez les impuretés possibles et les résidus de glace du réservoir.
8. Après quelques jours ou plus de fermeture ou de maintenance, il est très nécessaire de pré-refoner la tuyauterie VI et l'équipement terminal avant la saisie du liquide cryogénique, afin d'éviter les scories de glace après le liquide cryogénique entre directement dans la tuyauterie VI et l'équipement terminal. La fonction de pré-refroidissement doit être prise en compte dans la conception. Il offre une meilleure protection pour les équipements terminaux et les équipements de support de tuyauterie VI tels que les vannes.
9.Suit pour le système de tuyauterie dynamique et statique isolé (flexible).
10. Système de tuyauterie à vide à vide dynamique (flexible): se composent de tuyaux flexibles VI et / ou de tuyau VI, de tuyaux de cavalier, d'un système de soupape isolé à vide, de séparateurs de phase et d'un système de pompe à vide dynamique (y compris les pompes à vide, les valves de solénoïde et les manneaux aspirateurs, etc. ). La longueur du tuyau flexible unique VI peut être personnalisée selon les exigences de l'utilisateur.
11.Reaux de connexion vis-à-vis: le type de connexion à baïonnette à vide (VBC) et la connexion soudée peuvent être sélectionnés. Le type VBC n'a pas besoin d'un traitement isolé sur place.
