Les systèmes de refroidissement à l'azote liquide sont largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs et des puces, notamment dans le processus de :
- La technologie de l'épitaxie par jets moléculaires (MBE)
- Test de la puce après l'encapsulation COB
Produits associés
Série de tuyaux isolés sous vide
Série de tuyaux flexibles isolés sous vide
Système de pompe à vide dynamique
Série de séparateurs de phase isolés sous vide
Série de vannes isolées sous vide
Équipements de support des systèmes de tuyauterie
ÉPITAXYIE PAR FAISCEAU MOLÉCULAIRE
La technique d'épitaxie par jets moléculaires (EJM) a été développée dans les années 1950 pour la fabrication de couches minces semi-conductrices par évaporation sous vide. Avec l'avènement de l'ultravide, son application s'est étendue au domaine des semi-conducteurs.
HL a constaté la demande de systèmes de refroidissement à l'azote liquide pour la technologie MBE et a mis en place une infrastructure technique performante pour développer avec succès un système de refroidissement à l'azote liquide spécifique à la technologie MBE ainsi qu'un système de tuyauterie isolé sous vide complet, qui a été utilisé dans de nombreuses entreprises, universités et instituts de recherche.
Les problèmes courants de l'industrie des semi-conducteurs et des puces comprennent :
- Pression d'azote liquide dans l'équipement terminal (MBE). Prévenir les surcharges de pression susceptibles d'endommager l'équipement terminal (MBE).
- Commandes multiples d'entrée et de sortie de liquide cryogénique
- Température de l'azote liquide dans l'équipement terminal
- Une quantité raisonnable d'émissions de gaz cryogéniques
- Commutation (automatique) des lignes principales et secondaires
- Réglage (réduction) de la pression et stabilité du VIP
- Nettoyage du réservoir pour éliminer les impuretés et les résidus de glace.
- Temps de remplissage de l'équipement terminal pour liquides
- Prérefroidissement des pipelines
- Résistance aux liquides dans le système VIP
- Contrôle des pertes d'azote liquide pendant le fonctionnement discontinu du système
Les tubes isolés sous vide (VIP) de HL sont fabriqués conformément à la norme ASME B31.3 relative aux tuyauteries sous pression. Notre expertise en ingénierie et nos capacités de contrôle qualité garantissent l'efficacité et la rentabilité des installations de nos clients.
SOLUTIONS
HL Cryogenic Equipment fournit à ses clients le système de tuyauterie isolée sous vide pour répondre aux exigences et aux conditions de l'industrie des semi-conducteurs et des puces :
1. Système de gestion de la qualité : Code de tuyauterie sous pression ASME B31.3.
2. Un séparateur de phase spécial avec plusieurs entrées et sorties de liquide cryogénique avec fonction de contrôle automatique répond aux exigences d'émission de gaz, d'azote liquide recyclé et de température de l'azote liquide.
3. Une conception d'échappement adéquate et opportune garantit que l'équipement terminal fonctionne toujours dans les limites de pression prévues.
4. La barrière gaz-liquide est placée dans le tube vertical VI à l'extrémité de la canalisation VI. Cette barrière utilise le principe de l'étanchéité gazeuse pour empêcher la chaleur provenant de l'extrémité de la canalisation VI de pénétrer dans la tuyauterie VI, réduisant ainsi efficacement les pertes d'azote liquide lors des arrêts et des interruptions de service du système.
5. Tuyauterie VI contrôlée par la série de vannes à isolation sous vide (VIV) : comprenant les vannes d’arrêt pneumatiques à isolation sous vide, les clapets anti-retour à isolation sous vide, les vannes de régulation à isolation sous vide, etc. Différents types de VIV peuvent être combinés de manière modulaire pour contrôler la tuyauterie sous vide selon les besoins. La VIV est intégrée à la préfabrication de la tuyauterie sous vide en usine, sans traitement d’isolation sur site. Le joint d’étanchéité de la VIV est facilement remplaçable. (HL accepte les marques de vannes cryogéniques désignées par les clients et fabrique ensuite des vannes à isolation sous vide. Certaines marques et certains modèles de vannes peuvent ne pas être adaptés à la fabrication de vannes à isolation sous vide.)
6. Propreté : si des exigences supplémentaires s’appliquent à la propreté de la surface intérieure du tube, il est conseillé aux clients d’opter pour des tubes en acier inoxydable BA ou EP comme tubes intérieurs VIP afin de limiter davantage les projections d’acier inoxydable.
7. Filtre isolé sous vide : Nettoyer le réservoir des impuretés et des résidus de glace possibles.
8. Après un arrêt ou une maintenance de plusieurs jours, voire plus, il est impératif de prérefroidir la tuyauterie VI et les équipements terminaux avant l'introduction du fluide cryogénique, afin d'éviter la formation de glace lors de son contact direct avec ces derniers. Le prérefroidissement doit être intégré dès la conception. Il assure une meilleure protection des équipements terminaux et des équipements de support de la tuyauterie VI, tels que les vannes.
9. Convient aux systèmes de tuyauterie à isolation sous vide (flexible) dynamiques et statiques.
10. Système de tuyauterie flexible à isolation sous vide dynamique : composé de flexibles et/ou de tuyaux à isolation sous vide, de flexibles de raccordement, d’un système de vannes à isolation sous vide, de séparateurs de phases et d’un système de pompe à vide dynamique (incluant les pompes à vide, les électrovannes et les manomètres, etc.). La longueur de chaque flexible à isolation sous vide est personnalisable selon les besoins de l’utilisateur.
11. Différents types de raccordement : Le raccordement à baïonnette sous vide (VBC) et le raccordement soudé sont disponibles. Le raccordement VBC ne nécessite aucun traitement d’isolation sur site.
